華梵大學電子工程學系

電子工程專題研究報告

TiO 2 於軟性基材之應用研究

Study of TiO ₂ Thin Film Applied on Flexible Substrate

指導教授：林智玲 教授

學生 : 吳竑褕 何憶萍

鄭立琦邱于庭

曾韋慈

中華民國九十七年六月三十日

摘 要

奈米材料是目前很熱門的研究，其中二氧化鈦材料受到更廣泛的研究，例如光觸媒、生化感測器、光電材料陸續應用，許多國家相繼投入大量的資源研究。

二氧化鈦具有許多優良的物理及化學特性，且廣泛的被應用，例如：光干涉原理之多層光學膜、平面顯示器之介電膜層、光波導之導光膜層、氣體偵測器之感應膜等，此外亦不斷的開發出新的應用方向。

本實驗的第一個主題先探討目前軟性基板材料的特性及應用，並且我們選擇其中一種軟性基板最為我們實驗的基材。第二個主題我們將實驗步驟、儀器操作和介紹及實驗結果做整理後，將數據做成圖表呈現。第三個主題是將我們做出的研究數據和結果，做出討論和比較，找出比較適合的材料。

目 錄

摘 要 -----------------------------------------------------------------I

誌謝 -----------------------------------------------------------------II

目錄 ----------------------------------------------------------------III

表目錄 ------------------------------------------------------------- V

圖目錄 -------------------------------------------------------------- Ⅵ

第一章緒論 ---------------------------------------------------------1

壹、 簡介 ---------------------------------------------------------1

貳、研究動機 -----------------------------------------------------1

第二章 基板材料的介紹 ---------------------------------------------3

壹 .TiO₂ 光觸媒 -----------------------------------------------------3

貳 .ITO 玻璃 --------------------------------------------------------5

叁 . 軟性塑膠基板材料 ------------------------------------ ----------------7

肆 、 凝膠法製備薄膜與分析 ---------------------------------------11

第三章 研究設計與實驗製作 ---------------------------------------13

壹、 研究流程 -----------------------------------------------------13

貳、光罩設計 -----------------------------------------------------14

叁、實驗步驟 -----------------------------------------------------15

第四章 結論---------------------------------------------------------------------20

參考文獻-------------------------------------------------------------------------21

附錄 儀器設備和化學藥品--------------------------------------------------22

 壹、儀器設備-----------------------------------------------------------------22

 貳、化學藥品-----------------------------------------------------------------26